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電子特氣領(lǐng)域

PS-110R高壓設(shè)備閥

  • 【特長】閥體使用SUS316L不銹鋼，口徑10mm的高純度氣體管道用閥門。PS-110-R型高純度氣體管道用不銹鋼后座閥門（直筒型、10mm）
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【適用氣體】

腐蝕性，毒性，易燃，高純氣體（半導(dǎo)體），高純氣體及混合氣體。

【特征 1】  清潔性能，耐腐蝕性更出眾

①可保證氣體純度，對半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值2.0

①適用于液化氣的大流量閥門，也可用于壓縮氣體。

②常用于各種管路上，也可以用于設(shè)備。


參數(shù)：

最高工作壓力

 17MPa；25MPa

使用溫度

-20℃∽+65℃

進口

W29X16可選

出口

W29X16可選

氦檢漏（Pa.m3/sec)

1.0X10￣?以下

 


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