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電子特氣領(lǐng)域

SUS-55L不銹鋼隔膜閥

  • 【特點(diǎn)】采用簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu),對(duì)應(yīng)高純度氣體,隔膜型經(jīng)濟(jì) 型。閥體使用SUS316L不銹鋼,對(duì)應(yīng)高純度氣體。充填 口除了JIS、CGA等各種規(guī)格外,還可支持潔凈型規(guī)格。
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SUS-55L型不銹鋼制隔膜閥

【適用氣體】

腐蝕性,毒性,易燃,高純氣體(半導(dǎo)體):NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】 清潔性能,耐腐蝕性更出眾

①氣體很難在閥體內(nèi)滯留,閥的主件不會(huì)受到功能損壞或腐蝕。

②可保證氣體純度,對(duì)半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.35

①適用于液化氣的一般流量閥門,也可用于壓縮氣體。

②進(jìn)出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 可減輕因扭力過(guò)大導(dǎo)致的墊片變形。


參數(shù):

最高工作壓力

 20MPa;

使用溫度

-20℃∽+65

鋼瓶進(jìn)口

JIS B8246 V2 EN629   25E 3/4-14NGT可選

充裝出口

CGA/DISS/JIS/DIN/BS可選

氦檢漏(Pa.m3/sec)

1.0X10 ̄?以下


上一個(gè):沒(méi)有了! 下一個(gè):PS-110R高壓設(shè)備閥

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